简要回答：校准气体浓度的准确，从来不是数据手册上的某一项指标，而是一条经过验证的链条的结果：每台质量流量控制器（MFC）都单独对照经 NIST 认证的参考标准进行流量校准；稀释仪的输出用经过验证的分析仪进行分析核查；结果再与相同浓度的有证气瓶进行交叉比对。这条链上的每一个环节都必须可靠，而且在设备的整个使用寿命内都必须始终可靠。
无论您对一台设备有多大信心，对于校准物质而言，仅凭信心是不够的。“准确浓度”实际上是校准气体浓度准确度的简称，而准确度需要证明，不能想当然。
产生校准气体的设备，必须在设计、开发和制造阶段就确保其准确性。这是必要条件，但仅此还不够。在设备的整个使用寿命内，准确度都必须得到证明、检查和验证，而且在某个时候可能还需要进行修正。制造、最终测试和日常使用的每一个环节，都必须遵循同样的规则。
按需生成校准气体采用的是什么技术？
依照 ISO 6145-7 方法，利用质量流量控制器（MFC）对纯气体（或高浓度有证校准气体）进行混合和/或稀释，在现场按需配制所需气体。
最终浓度的准确程度取决于各路混合气体的流量值。混合过程本身也必须高效，并确保被分析物/化合物在到达输出点之前不受影响。
如何确定每台 MFC 的流量准确度？
流量准确度通过专有的 MFC 校准方法加以保证。每台 MFC 都使用其实际将要通过的特定气体或混合气（纯气体或预混气）进行校准。校准时，针对每种气体和每台 MFC，用经 NIST 认证的体积流量计测量流量，最多覆盖 400 个流量设定点。
如何对稀释仪的输出进行分析验证？
计量校准之后是分析验证环节。经校准的 MFC 生成校准气体，送入经过验证的分析仪，再将读数与期望值进行比较。理想情况下，这条曲线的斜率为 1.0。
以称量法制备的有证一级标准气体作为独立参照，用于评估稀释仪的性能。
如何用有证标准气对稀释仪进行交叉核查？
最后的交叉验证步骤，是在同一台分析仪上、按同一序列注入两种校准气体：
- 一种来自有证气瓶，
- 另一种由稀释仪用高浓度有证气体稀释产生，标称浓度与前者相同。
两个浓度值应在预先规定的可接受误差范围内保持一致。
下表是这种交叉核查的一个实际示例：在 794.1 ppm 的标准设定浓度下重复注入三次，与稀释仪的计算浓度进行比较，并列出每次运行的相对偏差。
应预期多大的误差范围？
“浓度一致”是一种方便的简称，但并不精确：两个独立生成的浓度永远不会完全重合。根据设备、所涉及的化合物、稀释比、采样管线长度等因素，规范的质量程序会规定一个可接受的误差范围，通常为目标浓度的 0.1% 至 2%。
| 标准设定浓度（ppm） | 794.1 | 794.1 | 794.1 |
| 平均值（mV） | 1571.8 | 1573.7 | 1573.0 |
| 计算浓度（ppm） | 798.9 | 799.9 | 799.5 |
| 相对偏差（%） | 0.6 | 0.7 | 0.7 |
常见问题
这种稀释方法依据什么标准？
ISO 6145-7，即采用分流技术（使用毛细管或临界流孔/MFC 的动态方法）制备校准混合气的参考方法。
气体稀释仪的准确度能与有证气瓶相当吗？
在规定的误差范围内，稀释仪可以与有证气瓶的结果相吻合，但这必须在您的具体应用中加以证明：通过 MFC 校准、分析验证以及与有证标准气的直接交叉核查来证明，而不能仅凭数据手册就作此假定。
多久需要重新验证一次准确度？
准确度应在仪器的整个使用寿命内持续检查和验证，而不仅仅是在投用调试时进行：某个时候可能需要进行修正，并且应作为质量程序的一部分，定期对制造/测试/使用这一链条重新进行确认。
