如何为仪器选择合适的 MFC 量程

01我们要讨论的是什么

GasMix™ 仪器通过质量流量控制器（MFC）实时计量每个通道的流量，从而构建气体浓度。满量程流量（即 MFC 能够测量和调节的最大流量）本质上就是该流量控制器的“规格”，也就是我们所说的量程。

额定 100 mL/min 的 MFC 与额定 500 mL/min 的 MFC 并不等同：它们覆盖的流量范围不同。选择量程，就是选择每个通道的工作流量窗口，进而决定仪器能够准确生成的浓度窗口。

02黄金法则：瞄准满量程的 10 – 100 %

在 GasMix™ 仪器上，满量程的 10 % 至 100 % 区间准确度最高，在此区间内重复性优于 0.1 %，准确度为设定值的 ± 1 %。这就是设计时应瞄准的工作窗口。MFC 仍可在低至满量程 2 % 的范围内工作，但不确定度更高。无论如何，无论您处于 MFC 量程的哪个位置，我们的 AlySoft 软件都会为您计算不确定度。

03分步方法

GasMix™ 软件会根据母气瓶浓度和控制器量程，自动计算每个通道的流量。我们的任务（在订购时或开展新应用之前）是确保这些计算出的流量落在 MFC 的工作范围内。

1. 列出极限工作点

确定您希望生成的最低和最高浓度，以及源气（母气瓶）的浓度。这两个极值决定了量程的选择。

2. 换算为流量

对于稀释，源气流量为：Q_source = (C_target / C_parent) × Q_total。最稀的点需要最小流量；最浓的点需要最大流量。

3. 为每个通道选择一个控制器

一次稀释需要使用两个流量控制器：一个用于源气，一个用于稀释气。稀释比来自两路流量之比。对于每个通道，选择满量程能够容纳该通道最高流量的量程，使其工作点位于刻度高端。选配得当的一对控制器甚至可以实现深度稀释：小量程的源气通道在接近其低端的位置运行，大量程的稀释气通道在接近满量程的位置运行。下方的计算器可为您同时确定两者的量程。

04量程计算器

一次稀释需要使用两个质量流量控制器：一个用于源气，一个用于稀释气。稀释比由两路流量之比决定。输入您的应用参数，工具即可为两者确定量程。结果仅供参考，需由 Alytech 根据您的具体气体和仪器型号确认。

05计算示例

您有一瓶1000 ppm 的 NO，希望生成10 至 200 ppm 的校准系列，总流量固定为 1000 mL/min。一次稀释使用两个通道（源气和稀释气），因此需要两个流量控制器。

每个通道配备一个控制器，按其自身的最高流量选型：

两个控制器（200 mL/min 的源气量程和 1000 mL/min 的稀释气量程）即可覆盖整个系列。最稀的点（10 ppm → 10 mL/min）位于源气量程的 5 %，完全处于工作范围内；如有需要，提高总流量即可将其提升到最佳区间。如需更深的稀释，只需为源气控制器选择更小的量程，使其在接近低端的位置运行，同时稀释气在接近满量程的位置运行，仍然只需两个控制器。

06两个常见错误

合理的选型介于两者之间，让每个点都位于刻度高端。当一个应用跨越多个数量级时，解决办法不是勉强使用单个 MFC，而是为其配置多个量程，或采用多级（级联）稀释。

07确定量程前的检查清单

遵循以上要点，您请求的每个浓度都将落在仪器保持最佳准确度的区间内，同时软件会计算并报告每个点的最终不确定度，实现完整溯源。